SHOWER HEAD 홀 치수 측정 시스템
엠비전텍은 홀 측정 시스템(Hole Inspection System, HIS)을 제조하여 고객사에 납품하고 있습니다.
Shower Head는 반도체 제조 공정에서 사용되는 가스 분배 장치로서, 웨이퍼 위에 균일하게 가스를 분포시키는 역할을 합니다.
대표적으로 CVD (Chemical Vapor Deposition) 공정과 ALD (Atomic Layer Deposition) 공정, 플라즈마 공정에서 Shower Head가 사용되며, 반도체 공정에서 매우 중요한 핵심 부품 중 하나입니다.
엠비전텍의 비전 솔루션을 도입한 타사의 구축 사례를 경험해 보세요.
